視頻顯微鏡zui早的雛形應(yīng)該是相機(jī)型顯微鏡，將奧林巴斯顯微鏡下得到的圖像通過(guò)小孔成像的原理，投影到感光照片上，從而得到圖片?；蛘咧苯訉⒄障鄼C(jī)與顯微鏡對(duì)接，拍攝圖片。隨著CCD攝像機(jī)的興起，顯微鏡可以通過(guò)其將實(shí)時(shí)圖像轉(zhuǎn)移到電視機(jī)或者監(jiān)視器上，直接觀察，同時(shí)也可以通過(guò)相機(jī)拍攝。從而叫做視頻顯微鏡，在80年代中期，隨著數(shù)碼產(chǎn)業(yè)以及電腦業(yè)的發(fā)展，視頻顯微鏡的功能也通過(guò)它們得到提升，使其向著更簡(jiǎn)便更容易操作的方面發(fā)展。到了90年代末，半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，晶圓要求，視頻顯微鏡可以帶來(lái)更加配合的功能，硬件與軟件的結(jié)合，智能化，人性化，使視頻顯微鏡在工業(yè)上有了更大的發(fā)展。